产品功能：

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液体超声波流速流量仪采用内嵌压电振子的超纯PFA一体式测量管，实现流量的精确、快速、非接触式式测量。

超纯PFA一体式测量管

控制器

产品亮点：

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1. 无损检测：该系列产品设计原理为非接触式测量，  所以对于被测量设备无损害；产品无可动部件，保证了对被测量设备的无二次污染；
2. 高精度高可靠：该系列产品具有高精度检测、测量  结果快速响应等特点，并且抗腐蚀性强；
3. 易安装易维护：产品进行了模块化设计，结构简明，使产品易安装易维护；
4. 告警机制设计灵活：流量高报警功能和流量低报警  功能，也可选配为测量错误报警、体积流量报警、  气泡报警和流量脉冲报警等功能。

工作原理：

产品由换能器和控制器两部分组成。
一对换能器（UT）相对平行，垂直测量管两侧安装。在控制器（Controller）作用下依次完成超声波信号的顺流发射接收与逆流发射接收，并分别获取超声波信号的顺流传播时间和逆流传播时间，进而得知管道内流量与超声波顺逆流传播时间值，最终得到管道内的流量信息。

产品规格：

应用场景：

• 集成电路工艺中超纯液体工艺环节：光刻、涂胶显影、湿法刻蚀、清洗等；
• 毒性、腐蚀性危险化学物质输送：半导体制造工艺中参与反应的化学品大多是有毒有害的，而且对参与反应的化学物质量的要求是严格控制的，全程需要用流量测量仪对反应过程实时监测；
• 化学机械抛光：半导体制造工艺中，抛光浆液使用量对抛光效果有严重影响，所以需要使用流量测量仪结合控制阀等设备对浆液输送进行严格剂量把控；
• 制药业中无菌、非侵入性流量检测。

电话：0571-61107105
E-mail：cheertech@cheertech.ltd。