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关于启尔

About Us

公司简介

      浙江启尔机电技术有限公司成立于2013年,从事微电子制造装备行业,主要研发高端光刻机浸液系统,同时研发、生产和销售泛半导体行业流体调控器件与系统。公司前身是浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队,团队先后承担国家863计划和国家02科技重大专项等科研项目30余项。公司专注于光刻机浸没系统及其衍生产品的研发,在流体精密测控、(泛)半导体制造以及超纯工艺等方面拥有丰富的技术经验。