产品功能：
CCElec-P系列电导率调节系统利用中空纤维膜气液选择交换技术，实现超纯水的电导率控制。
产品亮点：
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液体流道均为超纯材质，实现极限电导率调节范围的精准控制；
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紧凑小巧的结构设计，易操作，易维护；
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二氧化碳气体利用率高。
工作原理：
不同质量和流量的CO2溶入等量超纯水中发生电离，产生了正负离子变化，利用该变化可以实现电导率调节。
CO2溶解原理：
H2O+CO→H2CO3； H2CO3→H++HCO3-； HCO3-→H++CO32-
产品规格：
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性能参数
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单位
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参考数值
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电导率
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μS/cm
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5-20
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UPW流量范围
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L/min
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5-30
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液体入口/出口尺寸
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英寸
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1/2（可定制）
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控制精度
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/
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稳态流量情况下：电导率设定精度的±5%；
流量波动情况下：电导率设定精度的±15%
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气体接口类型
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/
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1/4"卡套（可定制）
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出入口压差
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bar
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≤2
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通信接口
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/
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模拟量输出/数字量输出
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尺寸（H*W*D）
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mm
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342*596*550
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重量
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Kg
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25
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电气接口
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/
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220V AC 50HZ
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CO2压力
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bar
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0.5-2
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UPW压力
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bar
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3-5
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应用场景：
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光刻机清洗机台及硅片、掩膜的清洗；
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半导体行业高纯零部件的清洗 （消除硅片划片过程中产生的静电）等；
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微电子工业的电子元件清洗。
市场合作请垂询：
电话：0571-61107105
E-mail：cheertech@cheertech.ltd。
