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CCElec-P系列电导率调节系统
来源: | 作者:adminmattwu | 发布时间: 2020-06-04 | 1753 次浏览 | 分享到:
产品功能:
CCElec-P系列电导率调节系统利用中空纤维膜气液选择交换技术,实现超纯水的电导率控制。

产品亮点:
  1. 液体流道均为超纯材质,实现极限电导率调节范围的精准控制;
  2. 紧凑小巧的结构设计,易操作,易维护;
  3. 二氧化碳气体利用率高。


工作原理:


不同质量和流量的CO2溶入等量超纯水中发生电离,产生了正负离子变化,利用该变化可以实现电导率调节。
CO2溶解原理:
H2O+CO→H2CO3;     H2CO3→H++HCO3-;     HCO3-→H++CO32-




产品规格:


性能参数 单位 参考数值
电导率 μS/cm 5-20
UPW流量范围 L/min 5-30
液体入口/出口尺寸 英寸 1/2(可定制)
控制精度 / 稳态流量情况下:电导率设定精度的±5%;
流量波动情况下:电导率设定精度的±15%
气体接口类型 / 1/4"卡套(可定制)
出入口压差 bar ≤2
通信接口 / 模拟量输出/数字量输出
尺寸(H*W*D) mm 342*596*550
重量 Kg 25
电气接口 / 220V AC 50HZ
CO2压力 bar 0.5-2
UPW压力 bar 3-5



应用场景:


  • 光刻机清洗机台及硅片、掩膜的清洗;
  • 半导体行业高纯零部件的清洗 (消除硅片划片过程中产生的静电)等;
  • 微电子工业的电子元件清洗。






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E-mail:cheertech@cheertech.ltd。