2024年9月27日，由中国液压气动密封件工业协会与中国机械工程学会联合组织的《超洁净磁悬浮泵》、《超洁净气动波纹管泵》及《半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求》三项团体标准送审稿审查会在浙江启尔机电技术有限公司召开。

      会议邀请了多位业内知名专家进行审查，包括中国液压气动密封件工业协会标准委员会主任李鲲、副主任张青松，中国计量大学副教授徐志鹏，浙江晶盛机电股份有限公司高级工程师李阳健，杭州爱力智控技术有限公司技术总工王谦，中国机械工程学会标准处副处长袁俊瑞，以及河北水利水电勘测设计研究院研究员杨铁荣等。标准牵头单位为浙江启尔机电技术有限公司，参与单位包括浙江大学以及半导体装备龙头企业北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科股份有限公司、盛美半导体设备（上海）股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、上海至纯系统集成科技有限公司、苏州冠礼科技有限公司、创微微电子（常州）有限公司、吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司 、江苏亚电科技股份有限公司、江苏科沛达半导体科技有限公司、江苏芯梦半导体设备有限公司、青岛国林半导体技术有限公司、中国电子科技集团公司第二研究所、上海市计量测试技术研究院、江苏沃凯氟精密智造有限公司 等19家单位。

      会议期间，专家组听取了标准工作组的汇报，并对提交的文件进行了详细审查。经过充分讨论和质询，专家组提出了一系列具体的修改意见。最终，专家组一致同意三项标准送审稿通过审查。此次审查会的成功举办，标志着上述三项标准编制工作迈出了重要的一步，即将进入报批阶段，三项团标将有力促进半导体超洁净流控零部件的国产化研制与应用。