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超纯气处理系统
来源: | 作者:Matt Wu | 发布时间: 2018-01-22 | 445 次浏览 | 分享到:













        面向半导体、医药、食品、化工等领域客户要求,提供各类超纯气处理系统定制化服务。可处理污染物包括:颗粒物、总有机碳TOC、细菌、总挥发酸、总挥发碱、熔融物质等。可设定输出流动参数包括:流量、压力、温度。具体性能参数示例如下:





超纯气处理系统性能指标示例(半导体级)

指标项

指标参数

流量

0~100NL/min

压力

≥0.5bar

温度

设定值范围:20~24℃

波动≤100mk/5min

TOC

<10ppt

总挥发酸

<10ppt

总挥发碱

<10ppt

熔融物质

<10ppt

颗粒

颗粒洁净度:Class1 ISO 14644-1