超纯水处理系统
来源:
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作者:Matt Wu
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发布时间: 2018-01-22
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面向半导体、医药、食品、化工等领域客户要求，提供各类超纯水处理系统定制化服务。可处理污染物包括：颗粒物、总有机碳TOC、电阻率、细菌、SiO2、溶解氧、溶解氮、金属离子等。
面向半导体、医药、食品、化工等领域客户要求，提供各类超纯水处理系统定制化服务。可调节指标包括：颗粒物、总有机碳TOC、电阻率、细菌、SiO2、溶解氧、溶解氮、金属离子等。可设定输出流动参数包括：流量、压力、温度。具体性能参数示例如下：
超纯水处理系统性能指标示例(半导体级)
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指标项
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指标参数
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流量
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1~5L/min
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温度
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设定值范围：20~24℃
波动≤10mk/5min
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TOC
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≤1ppb
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溶解氧
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≤10ppb
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溶解氮
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≤18ppm
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细菌
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≤1CFU/L
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颗粒
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(≥50nm)≤300个/L
(≥120nm)≤0个/L
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电阻率
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≥18.2MΩ·cm（25°C）
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金属离子（Fe、Cu、Ni、K、Na等）
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≤25ppt
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Fe离子
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≤5ppt
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其它金属离子
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≤10ppt（每种）
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其它阴离子
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≤50ppt（每种）
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