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超纯水处理系统
来源: | 作者:Matt Wu | 发布时间: 2018-01-22 | 865 次浏览 | 分享到:












       面向半导体、医药、食品、化工等领域客户要求,提供各类超纯水处理系统定制化服务。可调节指标包括:颗粒物、总有机碳TOC、电阻率、细菌、SiO2、溶解氧、溶解氮、金属离子等。可设定输出流动参数包括:流量、压力、温度。具体性能参数示例如下:






超纯水处理系统性能指标示例(半导体级)

指标项

指标参数

流量

1~5L/min

温度

设定值范围:20~24

波动≤10mk/5min

TOC

1ppb

溶解氧

10ppb

溶解氮

≤18ppm

细菌

≤1CFU/L

颗粒

(≥50nm)300个/L

(120nm)0个/L

电阻率

≥18.2MΩ·cm(25°C)

金属离子(Fe、Cu、Ni、K、Na

≤25ppt

Fe离子

≤5ppt

其它金属离子

≤10ppt(每种)

其它阴离子

≤50ppt(每种)


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