超纯水处理系统
来源:
|
作者:Matt Wu
|
发布时间: 2018-01-22
|
2221 次浏览
|
分享到:
面向半导体、医药、食品、化工等领域客户要求，提供各类超纯水处理系统定制化服务。可处理污染物包括：颗粒物、总有机碳TOC、电阻率、细菌、SiO2、溶解氧、溶解氮、金属离子等。
面向半导体、医药、食品、化工等领域客户要求，提供各类超纯水处理系统定制化服务。可调节指标包括：颗粒物、总有机碳TOC、电阻率、细菌、SiO2、溶解氧、溶解氮、金属离子等。可设定输出流动参数包括：流量、压力、温度。具体性能参数示例如下：
超纯水处理系统性能指标示例(半导体级)
|
指标项
|
指标参数
|
|
流量
|
1~5L/min
|
|
温度
|
设定值范围：20~24℃
波动≤10mk/5min
|
|
TOC
|
≤1ppb
|
|
溶解氧
|
≤10ppb
|
|
溶解氮
|
≤18ppm
|
|
细菌
|
≤1CFU/L
|
|
颗粒
|
(≥50nm)≤300个/L
(≥120nm)≤0个/L
|
|
电阻率
|
≥18.2MΩ·cm（25°C）
|
|
金属离子（Fe、Cu、Ni、K、Na等）
|
≤25ppt
|
|
Fe离子
|
≤5ppt
|
|
其它金属离子
|
≤10ppt（每种）
|
|
其它阴离子
|
≤50ppt（每种）
|
