CheerUltraWater-L10
CheerUltraWater-L100
产品功能：
CheerUltraWater-L系列超纯水集中供给系统采用符合集成电路产业用水要求的水质处理工艺与输控技术，为客户提供高品质的超纯水供给，且系统采用集成式设计，结构紧凑，占地空间小。根据出口指标不同，该系列产品包括CheerUltraWater-L10与CheerUltraWater-L100两个规格。
产品亮点：
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模块化设计：结构紧凑，占地面积小；
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稳定可靠的水源输出：在上游水质波动的情况下，仍能保障稳定使用和输出；
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关键指标实施监测：可以对系统的关键指标进行水质的实时监测，如TOC、电阻率、离子、溶解氧，温度等；
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定制化产品和服务：可以根据客户需求进行深度定制。
工作原理：
产品规格：
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性能参数
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单位
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入口指标
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出口指标
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CheerUltraWater-L10
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CheerUltraWater-L100
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产水量
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L/min
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/
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≤10
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≤100
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温度
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℃
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20~25
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20~23
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20~25
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温度稳定性1
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℃/h
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±2.5
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±0.5
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±0.5
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温度稳定性2
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℃/5min
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±0.5
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±0.1
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±0.1
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压力
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Bar
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>1.5
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3~5
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3~5
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溶解氧（DO）
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ppb
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＜5
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<100
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<10
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在线TOC
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ppb
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≤2
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＜1
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＜1
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细菌
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CFU/L
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<5
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<1
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＜1
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电阻率
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MΩ.cm
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≥17.5
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≥18.2@25℃
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≥18.2@25℃
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应用场景：
浸液式光刻机配套用水
清洗机台用水
电子级试剂的稀释用水
市场合作请垂询：
电话：0571-61107105
E-mail：cheertech@cheertech.ltd。
